洁净与空调技术
潔淨與空調技術
길정여공조기술
CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
2006年
4期
46-50
,共5页
集成电路%微污染控制%振动源%防微振结构%隔振措施
集成電路%微汙染控製%振動源%防微振結構%隔振措施
집성전로%미오염공제%진동원%방미진결구%격진조시
集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题.
集成電路(IC)工廠設計的覈心問題是微汙染控製,防微振作為控製振動汙染,在工程設計中佔有重要的地位.防微振技術涉及的環節較多,本文提齣依據現場測試與工程實踐經驗,把握主要環節,遵從繫統性的觀點,採用科學的方法,解決防微振問題.
집성전로(IC)공엄설계적핵심문제시미오염공제,방미진작위공제진동오염,재공정설계중점유중요적지위.방미진기술섭급적배절교다,본문제출의거현장측시여공정실천경험,파악주요배절,준종계통성적관점,채용과학적방법,해결방미진문제.
