中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
5期
673-678
,共6页
田光磊%申雁鸣%沈健%邵建达%范正修
田光磊%申雁鳴%瀋健%邵建達%範正脩
전광뢰%신안명%침건%소건체%범정수
薄膜%X射线衍射%晶相结构%迁移率%扩散激活能
薄膜%X射線衍射%晶相結構%遷移率%擴散激活能
박막%X사선연사%정상결구%천이솔%확산격활능
用不同的方法在石英玻璃,YAG晶体,K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2,HfO2和TiO2薄膜.HfO2薄膜利用电子束蒸发(EB)、离子束辅助(IAD)和双束离子束溅射(DIBS)三种方法沉积.对其中的一些样品进行了不同温度下的退火处理,对所有的样品进行X射线衍射(XRD)测试,以获得不同条件下得到的薄膜的晶相及晶粒尺寸等的微结构参数.实验结果表明,薄膜的晶相结构以及晶粒尺寸强烈地依赖于沉积过程的各种技术参数,如衬底的种类、沉积温度、沉积方法和退火温度.利用薄膜表面扩散以及薄膜成核长大热力学原理解释了不同技术条件下的晶相结构和晶粒尺寸不同的原因.
用不同的方法在石英玻璃,YAG晶體,K9玻璃和LiNbO3晶體等幾種襯底上製備瞭ZrO2,HfO2和TiO2薄膜.HfO2薄膜利用電子束蒸髮(EB)、離子束輔助(IAD)和雙束離子束濺射(DIBS)三種方法沉積.對其中的一些樣品進行瞭不同溫度下的退火處理,對所有的樣品進行X射線衍射(XRD)測試,以穫得不同條件下得到的薄膜的晶相及晶粒呎吋等的微結構參數.實驗結果錶明,薄膜的晶相結構以及晶粒呎吋彊烈地依賴于沉積過程的各種技術參數,如襯底的種類、沉積溫度、沉積方法和退火溫度.利用薄膜錶麵擴散以及薄膜成覈長大熱力學原理解釋瞭不同技術條件下的晶相結構和晶粒呎吋不同的原因.
용불동적방법재석영파리,YAG정체,K9파리화LiNbO3정체등궤충츤저상제비료ZrO2,HfO2화TiO2박막.HfO2박막이용전자속증발(EB)、리자속보조(IAD)화쌍속리자속천사(DIBS)삼충방법침적.대기중적일사양품진행료불동온도하적퇴화처리,대소유적양품진행X사선연사(XRD)측시,이획득불동조건하득도적박막적정상급정립척촌등적미결구삼수.실험결과표명,박막적정상결구이급정립척촌강렬지의뢰우침적과정적각충기술삼수,여츤저적충류、침적온도、침적방법화퇴화온도.이용박막표면확산이급박막성핵장대열역학원리해석료불동기술조건하적정상결구화정립척촌불동적원인.
