真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
2期
113-117
,共5页
朱绪飞%宋晔%肖迎红%朱晴%高魁%陆路德
硃緒飛%宋曄%肖迎紅%硃晴%高魁%陸路德
주서비%송엽%초영홍%주청%고괴%륙로덕
阳极氧化%多孔铝阳极氧化膜%真空%氧气析出%电解液
暘極氧化%多孔鋁暘極氧化膜%真空%氧氣析齣%電解液
양겁양화%다공려양겁양화막%진공%양기석출%전해액
为探讨多孔铝阳极氧化膜的形成机理,研究了不同气压条件下铝在磷酸溶液中的阳极氧化过程,发现在真空下进行阳极氧化,氧气析出非常明显.通过测定不同气压下的阳极氧化曲线,分析了致密膜向多孔氧化铝膜的转化和生长过程,结果显示氧气析出是导致氧化膜从致密膜向多孔膜转变的主要原因.提出了在氧化膜/电解液界面上氧气分子的聚集是造成表面条纹的新观点.通过氧化膜断面的SEM形貌表征,首次发现多孔膜的主孔道中存在分孔道.分孔道的产生说明析氧反应不但在致密膜/电解液界面发生,而且在多孔膜孔壁/电解液界面也同时发生.
為探討多孔鋁暘極氧化膜的形成機理,研究瞭不同氣壓條件下鋁在燐痠溶液中的暘極氧化過程,髮現在真空下進行暘極氧化,氧氣析齣非常明顯.通過測定不同氣壓下的暘極氧化麯線,分析瞭緻密膜嚮多孔氧化鋁膜的轉化和生長過程,結果顯示氧氣析齣是導緻氧化膜從緻密膜嚮多孔膜轉變的主要原因.提齣瞭在氧化膜/電解液界麵上氧氣分子的聚集是造成錶麵條紋的新觀點.通過氧化膜斷麵的SEM形貌錶徵,首次髮現多孔膜的主孔道中存在分孔道.分孔道的產生說明析氧反應不但在緻密膜/電解液界麵髮生,而且在多孔膜孔壁/電解液界麵也同時髮生.
위탐토다공려양겁양화막적형성궤리,연구료불동기압조건하려재린산용액중적양겁양화과정,발현재진공하진행양겁양화,양기석출비상명현.통과측정불동기압하적양겁양화곡선,분석료치밀막향다공양화려막적전화화생장과정,결과현시양기석출시도치양화막종치밀막향다공막전변적주요원인.제출료재양화막/전해액계면상양기분자적취집시조성표면조문적신관점.통과양화막단면적SEM형모표정,수차발현다공막적주공도중존재분공도.분공도적산생설명석양반응불단재치밀막/전해액계면발생,이차재다공막공벽/전해액계면야동시발생.
