贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2008年
2期
62-66
,共5页
魏燕%胡昌义%王云%欧阳远良%陈力%蔡宏中
魏燕%鬍昌義%王雲%歐暘遠良%陳力%蔡宏中
위연%호창의%왕운%구양원량%진력%채굉중
金属材料%铂族金属薄膜%难熔金属%制备%化学气相沉积
金屬材料%鉑族金屬薄膜%難鎔金屬%製備%化學氣相沉積
금속재료%박족금속박막%난용금속%제비%화학기상침적
综述了化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)技术制备高温抗氧化涂层-铂族金属(Pt、Ir)涂层及难熔金属(W、Mo、Ta、Nb、Re)的方法.并对部分有报道的沉积参数以及沉积参数对沉积层结构及性质的影响进行了介绍.
綜述瞭化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,簡稱CVD)技術製備高溫抗氧化塗層-鉑族金屬(Pt、Ir)塗層及難鎔金屬(W、Mo、Ta、Nb、Re)的方法.併對部分有報道的沉積參數以及沉積參數對沉積層結構及性質的影響進行瞭介紹.
종술료화학기상침적(Chemical Vapor Deposition,간칭CVD)기술제비고온항양화도층-박족금속(Pt、Ir)도층급난용금속(W、Mo、Ta、Nb、Re)적방법.병대부분유보도적침적삼수이급침적삼수대침적층결구급성질적영향진행료개소.
