CAJ | 학술논문

为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求,对使用原子力显微镜(AFM)测量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究.基于图像处理技术从单晶硅刻线样本的AFM测量图像中提取出线边缘粗糙度,并确定出其量化表征的参数.然后,根据线边缘粗糙度测量与表征的特点,对各种影响因素,包括探针针尖尺寸与形状的非理想性、AFM扫描图像的噪声、扫描采样问隔、压电晶体驱动精度、悬臂梁振动以及线边缘检测算法中的自由参数等进行了理论和实验分析,并分别提出了抑制及修正的方法.研究表明,在分析各种可能导致测量误差的影响因素的基础上,消除或减小其影响,可以提高刻线边缘粗糙度测量的准确度,为实现纳米尺度刻线形貌测量的精度要求提供理论与方法上的支持.
위료만족미전자제조기술중불단제고적각선변연조조도측량여공제정도적요구,대사용원자력현미경(AFM)측량각선변연조조도적영향인소진행료연구.기우도상처리기술종단정규각선양본적AFM측량도상중제취출선변연조조도,병학정출기양화표정적삼수.연후,근거선변연조조도측량여표정적특점,대각충영향인소,포괄탐침침첨척촌여형상적비이상성、AFM소묘도상적조성、소묘채양문격、압전정체구동정도、현비량진동이급선변연검측산법중적자유삼수등진행료이론화실험분석,병분별제출료억제급수정적방법.연구표명,재분석각충가능도치측량오차적영향인소적기출상,소제혹감소기영향,가이제고각선변연조조도측량적준학도,위실현납미척도각선형모측량적정도요구제공이론여방법상적지지.