稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2009年
3期
443-446
,共4页
喻志农%相龙锋%李玉琼%薛唯
喻誌農%相龍鋒%李玉瓊%薛唯
유지농%상룡봉%리옥경%설유
离子辅助蒸发技术%ITO薄膜%二氧化硅缓冲层
離子輔助蒸髮技術%ITO薄膜%二氧化硅緩遲層
리자보조증발기술%ITO박막%이양화규완충층
利用离子辅助蒸发技术在PET塑料衬底上制备柔性ITO薄膜,重点分析了柔性ITO薄膜在增加SiO2缓冲层前后的性能变化.采用X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪、NT100光学轮廓仪等测试手段对薄膜样品进行表征.实验结果表明:增加缓冲层后,柔性ITO薄膜的X射线衍射特征峰的强度增加;薄膜电阻率减小为1.21×10-3Ω·cm;可见光峰值透过率为85%左右;表面相对光滑;薄膜电阻在一定的弯曲状态保持一定的稳定性.
利用離子輔助蒸髮技術在PET塑料襯底上製備柔性ITO薄膜,重點分析瞭柔性ITO薄膜在增加SiO2緩遲層前後的性能變化.採用X射線衍射、紫外-可見分光光度計、四探針電阻測量儀、NT100光學輪廓儀等測試手段對薄膜樣品進行錶徵.實驗結果錶明:增加緩遲層後,柔性ITO薄膜的X射線衍射特徵峰的彊度增加;薄膜電阻率減小為1.21×10-3Ω·cm;可見光峰值透過率為85%左右;錶麵相對光滑;薄膜電阻在一定的彎麯狀態保持一定的穩定性.
이용리자보조증발기술재PET소료츤저상제비유성ITO박막,중점분석료유성ITO박막재증가SiO2완충층전후적성능변화.채용X사선연사、자외-가견분광광도계、사탐침전조측량의、NT100광학륜곽의등측시수단대박막양품진행표정.실험결과표명:증가완충층후,유성ITO박막적X사선연사특정봉적강도증가;박막전조솔감소위1.21×10-3Ω·cm;가견광봉치투과솔위85%좌우;표면상대광활;박막전조재일정적만곡상태보지일정적은정성.
