太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2009年
7期
861-865
,共5页
侯国付%郁操%赵颖%耿新华
侯國付%鬱操%趙穎%耿新華
후국부%욱조%조영%경신화
β-FeSi2%薄膜%直流磁控溅射%Fe-Si组合靶%太阳电池
β-FeSi2%薄膜%直流磁控濺射%Fe-Si組閤靶%太暘電池
β-FeSi2%박막%직류자공천사%Fe-Si조합파%태양전지
报道了在单晶Si(100)衬底上,采用室温直流磁控溅射Fe-si组合靶的方法,并经过后续气氛退火来制备β-FeSi2薄膜的结果.主要研究了退火时间、退火温度等实验条件对样品结构特性、光学特性和电学特性的影响,制备出了单一相高质量的βFeSi2薄膜.霍尔测试表明未掺杂薄膜是P型导电的,载流子浓度5.7147×1016 cm-3,空穴迁移率168cm2/Vs.由反射一透射法得到薄膜的禁带宽度为0.879eV,吸收系数在光子能量为1.0eV时达到了1.42×105cm-1.基于以上优异的光电性能,β-FeSi2薄膜可望用作太阳电池的有源层.
報道瞭在單晶Si(100)襯底上,採用室溫直流磁控濺射Fe-si組閤靶的方法,併經過後續氣氛退火來製備β-FeSi2薄膜的結果.主要研究瞭退火時間、退火溫度等實驗條件對樣品結構特性、光學特性和電學特性的影響,製備齣瞭單一相高質量的βFeSi2薄膜.霍爾測試錶明未摻雜薄膜是P型導電的,載流子濃度5.7147×1016 cm-3,空穴遷移率168cm2/Vs.由反射一透射法得到薄膜的禁帶寬度為0.879eV,吸收繫數在光子能量為1.0eV時達到瞭1.42×105cm-1.基于以上優異的光電性能,β-FeSi2薄膜可望用作太暘電池的有源層.
보도료재단정Si(100)츤저상,채용실온직류자공천사Fe-si조합파적방법,병경과후속기분퇴화래제비β-FeSi2박막적결과.주요연구료퇴화시간、퇴화온도등실험조건대양품결구특성、광학특성화전학특성적영향,제비출료단일상고질량적βFeSi2박막.곽이측시표명미참잡박막시P형도전적,재류자농도5.7147×1016 cm-3,공혈천이솔168cm2/Vs.유반사일투사법득도박막적금대관도위0.879eV,흡수계수재광자능량위1.0eV시체도료1.42×105cm-1.기우이상우이적광전성능,β-FeSi2박막가망용작태양전지적유원층.
