苏州大学学报(自然科学版)
囌州大學學報(自然科學版)
소주대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SUZHOU UNIVERSITY NATURAL SCIENCE
2003年
4期
62-67
,共6页
硅%双聚体空位%沉积%扩散%经验紧束缚近似
硅%雙聚體空位%沉積%擴散%經驗緊束縳近似
규%쌍취체공위%침적%확산%경험긴속박근사
采用经验紧束缚近似方法模拟重构硅(100)表面单个双聚体空位(SDV)附近的单个硅原子的沉积行为.根据绘制的SDV附近附加能量差异的三维及投影图,确定了沉积束缚点和一些鞍点,并研究其可能的扩散路径.
採用經驗緊束縳近似方法模擬重構硅(100)錶麵單箇雙聚體空位(SDV)附近的單箇硅原子的沉積行為.根據繪製的SDV附近附加能量差異的三維及投影圖,確定瞭沉積束縳點和一些鞍點,併研究其可能的擴散路徑.
채용경험긴속박근사방법모의중구규(100)표면단개쌍취체공위(SDV)부근적단개규원자적침적행위.근거회제적SDV부근부가능량차이적삼유급투영도,학정료침적속박점화일사안점,병연구기가능적확산로경.
