华南师范大学学报(自然科学版)
華南師範大學學報(自然科學版)
화남사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
2期
77-81
,共5页
符斯列%陈俊芳%吴先球%赵文峰%樊双莉%马涛
符斯列%陳俊芳%吳先毬%趙文峰%樊雙莉%馬濤
부사렬%진준방%오선구%조문봉%번쌍리%마도
ECR-PEMOCVD%朗缪尔探针%离子密度%电子温度
ECR-PEMOCVD%朗繆爾探針%離子密度%電子溫度
ECR-PEMOCVD%랑무이탐침%리자밀도%전자온도
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游Ⅰ区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游U区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16 cm区域内等离子体密度均匀性达到了96.3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用.
利用朗繆爾探針,診斷瞭Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa條件下在微波電子迴鏇共振等離子體增彊有機金屬化學氣相沉積ECR-PEMOCVD裝置反應室中ECR等離子體密度和電子溫度的空間分佈規律併分析瞭磁場對等離子體分佈的影響.上遊Ⅰ區的等離子體受磁場梯度影響、按磁場位形擴散且等離子體分佈不均勻;下遊U區的等離子體具有良好的徑嚮分佈均勻性.下遊Ⅱ區z=30cm、直徑為16 cm區域內等離子體密度均勻性達到瞭96.3%.這種大麵積均勻分佈的等離子體在等離子體加工工藝中具有廣汎的應用.
이용랑무이탐침,진단료Pw=650W、Im=145 A、p=0.1 pa조건하재미파전자회선공진등리자체증강유궤금속화학기상침적ECR-PEMOCVD장치반응실중ECR등리자체밀도화전자온도적공간분포규률병분석료자장대등리자체분포적영향.상유Ⅰ구적등리자체수자장제도영향、안자장위형확산차등리자체분포불균균;하유U구적등리자체구유량호적경향분포균균성.하유Ⅱ구z=30cm、직경위16 cm구역내등리자체밀도균균성체도료96.3%.저충대면적균균분포적등리자체재등리자체가공공예중구유엄범적응용.
