物理学报
物理學報
물이학보
2006年
3期
1508-1511
,共4页
魏向军%徐清%王天民%贾全杰%王焕华%冯松林
魏嚮軍%徐清%王天民%賈全傑%王煥華%馮鬆林
위향군%서청%왕천민%가전걸%왕환화%풍송림
相深度分布%形状记忆%TiNi%多层膜
相深度分佈%形狀記憶%TiNi%多層膜
상심도분포%형상기억%TiNi%다층막
用掠入射X射线衍射及X射线反射对磁控溅射制取的等原子比Ni/Ti周期性多层膜晶化热处理后的TiNi形状记忆薄膜室温微结构进行了研究.TiNi形状记忆薄膜在深度方向的相分布和元素分布是不均匀的,都是一种多层结构.室温下其微结构特征为最外层是Ti氧化膜,再下层是Ti3Ni4,B19'马氏体相和少量的B2奥氏体相的三相混合物,靠近基体为主要相成分马氏体,最后是Ni和Si界面反应层.X射线反射率的拟和结果显示薄膜微结构的分析是合理的.薄膜中相深度分布的不均匀性主要是动力学因素决定的.
用掠入射X射線衍射及X射線反射對磁控濺射製取的等原子比Ni/Ti週期性多層膜晶化熱處理後的TiNi形狀記憶薄膜室溫微結構進行瞭研究.TiNi形狀記憶薄膜在深度方嚮的相分佈和元素分佈是不均勻的,都是一種多層結構.室溫下其微結構特徵為最外層是Ti氧化膜,再下層是Ti3Ni4,B19'馬氏體相和少量的B2奧氏體相的三相混閤物,靠近基體為主要相成分馬氏體,最後是Ni和Si界麵反應層.X射線反射率的擬和結果顯示薄膜微結構的分析是閤理的.薄膜中相深度分佈的不均勻性主要是動力學因素決定的.
용략입사X사선연사급X사선반사대자공천사제취적등원자비Ni/Ti주기성다층막정화열처리후적TiNi형상기억박막실온미결구진행료연구.TiNi형상기억박막재심도방향적상분포화원소분포시불균균적,도시일충다층결구.실온하기미결구특정위최외층시Ti양화막,재하층시Ti3Ni4,B19'마씨체상화소량적B2오씨체상적삼상혼합물,고근기체위주요상성분마씨체,최후시Ni화Si계면반응층.X사선반사솔적의화결과현시박막미결구적분석시합리적.박막중상심도분포적불균균성주요시동역학인소결정적.
