光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
4期
689-695
,共7页
吕玉山%王军%张辽远%冯连东
呂玉山%王軍%張遼遠%馮連東
려옥산%왕군%장료원%풍련동
化学机械抛光%单晶硅片%接触压强分布%平面度误差
化學機械拋光%單晶硅片%接觸壓彊分佈%平麵度誤差
화학궤계포광%단정규편%접촉압강분포%평면도오차
为了获得单晶硅片化学机械抛光过程中护环对接触压强分布的影响规律,从有护环化学机械抛光实际出发,建立了抛光过程的接触力学模型和边界条件,利用有限元法对有护环抛光接触状态时的接触压强分布进行了计算和分析,并利用抛光实验对计算获得结果进行了验证.获得了硅片与抛光垫问的接触表面压强分布形态,以及护环几何参数对压强分布的影响规律.确定了护环抛光接触压强的分布也存在不均匀性,而且在硅片外径邻域内接触压强最大,并导致被加工硅片产生平面度误差和塌边.结果表明,当选择护环与硅片的间隙为0,负载比为2.5～3.5,以及适当的护环宽度时,可以改善接触压强分布的均匀性.
為瞭穫得單晶硅片化學機械拋光過程中護環對接觸壓彊分佈的影響規律,從有護環化學機械拋光實際齣髮,建立瞭拋光過程的接觸力學模型和邊界條件,利用有限元法對有護環拋光接觸狀態時的接觸壓彊分佈進行瞭計算和分析,併利用拋光實驗對計算穫得結果進行瞭驗證.穫得瞭硅片與拋光墊問的接觸錶麵壓彊分佈形態,以及護環幾何參數對壓彊分佈的影響規律.確定瞭護環拋光接觸壓彊的分佈也存在不均勻性,而且在硅片外徑鄰域內接觸壓彊最大,併導緻被加工硅片產生平麵度誤差和塌邊.結果錶明,噹選擇護環與硅片的間隙為0,負載比為2.5～3.5,以及適噹的護環寬度時,可以改善接觸壓彊分佈的均勻性.
위료획득단정규편화학궤계포광과정중호배대접촉압강분포적영향규률,종유호배화학궤계포광실제출발,건립료포광과정적접촉역학모형화변계조건,이용유한원법대유호배포광접촉상태시적접촉압강분포진행료계산화분석,병이용포광실험대계산획득결과진행료험증.획득료규편여포광점문적접촉표면압강분포형태,이급호배궤하삼수대압강분포적영향규률.학정료호배포광접촉압강적분포야존재불균균성,이차재규편외경린역내접촉압강최대,병도치피가공규편산생평면도오차화탑변.결과표명,당선택호배여규편적간극위0,부재비위2.5～3.5,이급괄당적호배관도시,가이개선접촉압강분포적균균성.
