河南科技大学学报（自然科学版）
河南科技大學學報（自然科學版）
하남과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2009年
3期
15-17,22
,共4页
杨传径%陈庆东%杜凯%高春晓%刘才龙
楊傳徑%陳慶東%杜凱%高春曉%劉纔龍
양전경%진경동%두개%고춘효%류재룡
热丝%CVD%纳米引晶%掺杂金刚石薄膜
熱絲%CVD%納米引晶%摻雜金剛石薄膜
열사%CVD%납미인정%참잡금강석박막
利用金刚石纳米粉引晶方法在SiO2衬底上合成了高硼掺杂金刚石薄膜,并利用范德堡法、扫描电镜、激光拉曼方法对不同掺杂量下生长的样品进行了表征.SEM和拉曼谱分析表明,少量掺杂时有利于提高金刚石薄膜的质量,但是随着掺杂量的增加,金刚石薄膜质量开始明显下降;并且拉曼谱峰在500 cm-1和1200 cm-1开始加强,呈现重掺杂金刚石薄膜的典型特征.其电导率随着温度升高而升高,表明导电性质为半导体导电.
利用金剛石納米粉引晶方法在SiO2襯底上閤成瞭高硼摻雜金剛石薄膜,併利用範德堡法、掃描電鏡、激光拉曼方法對不同摻雜量下生長的樣品進行瞭錶徵.SEM和拉曼譜分析錶明,少量摻雜時有利于提高金剛石薄膜的質量,但是隨著摻雜量的增加,金剛石薄膜質量開始明顯下降;併且拉曼譜峰在500 cm-1和1200 cm-1開始加彊,呈現重摻雜金剛石薄膜的典型特徵.其電導率隨著溫度升高而升高,錶明導電性質為半導體導電.
이용금강석납미분인정방법재SiO2츤저상합성료고붕참잡금강석박막,병이용범덕보법、소묘전경、격광랍만방법대불동참잡량하생장적양품진행료표정.SEM화랍만보분석표명,소량참잡시유리우제고금강석박막적질량,단시수착참잡량적증가,금강석박막질량개시명현하강;병차랍만보봉재500 cm-1화1200 cm-1개시가강,정현중참잡금강석박막적전형특정.기전도솔수착온도승고이승고,표명도전성질위반도체도전.
