光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
6期
120-125
,共6页
李宏壮%王建立%林旭东%刘欣悦%陈宝刚%韩昌元
李宏壯%王建立%林旭東%劉訢悅%陳寶剛%韓昌元
리굉장%왕건립%림욱동%류흔열%진보강%한창원
主动光学%Shack-Harmann波前传感器%力促动器%阻尼最小二乘法
主動光學%Shack-Harmann波前傳感器%力促動器%阻尼最小二乘法
주동광학%Shack-Harmann파전전감기%력촉동기%조니최소이승법
用口径400mm、厚12mm的薄反射镜作为实验镜进行了主动光学实验.支撑系统由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成,主动支撑点采用由压电陶瓷促动器和压力传感器组成的力促动器,用于控制实验镜面形,固定支撑点用于控制实验镜的定位.通过Shack-Harmann波前传感器测量镜面面形并拟合出Zernike像差,用阻尼最小二乘法计算出校正力,通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程.通过主动校正,将初始支撑状态下的1.16λ(λ=632.8nm)RMS面形精度校正到0.07λRMS,优于镜面抛光后的0.1λRMS.
用口徑400mm、厚12mm的薄反射鏡作為實驗鏡進行瞭主動光學實驗.支撐繫統由揹部12箇主動支撐點和3箇固定支撐點組成,主動支撐點採用由壓電陶瓷促動器和壓力傳感器組成的力促動器,用于控製實驗鏡麵形,固定支撐點用于控製實驗鏡的定位.通過Shack-Harmann波前傳感器測量鏡麵麵形併擬閤齣Zernike像差,用阻尼最小二乘法計算齣校正力,通過PID算法閉環控製各促動器施加力的過程.通過主動校正,將初始支撐狀態下的1.16λ(λ=632.8nm)RMS麵形精度校正到0.07λRMS,優于鏡麵拋光後的0.1λRMS.
용구경400mm、후12mm적박반사경작위실험경진행료주동광학실험.지탱계통유배부12개주동지탱점화3개고정지탱점조성,주동지탱점채용유압전도자촉동기화압력전감기조성적력촉동기,용우공제실험경면형,고정지탱점용우공제실험경적정위.통과Shack-Harmann파전전감기측량경면면형병의합출Zernike상차,용조니최소이승법계산출교정력,통과PID산법폐배공제각촉동기시가력적과정.통과주동교정,장초시지탱상태하적1.16λ(λ=632.8nm)RMS면형정도교정도0.07λRMS,우우경면포광후적0.1λRMS.
