计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
10期
9-11
,共3页
为了研究目前主流微加工表面检测方式,本文选择三种基本材料:K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工,并使用目前主流超光滑表面测试仪器对其进行检测.通过对照结果,分析各仪器测量原理、分辨力决定因素,区分造成测量误差的原因及它们各自对粗糙度参数的影响.
為瞭研究目前主流微加工錶麵檢測方式,本文選擇三種基本材料:K9玻璃、金屬、陶瓷三種不同材料在同等條件下採用不同工藝進行加工,併使用目前主流超光滑錶麵測試儀器對其進行檢測.通過對照結果,分析各儀器測量原理、分辨力決定因素,區分造成測量誤差的原因及它們各自對粗糙度參數的影響.
위료연구목전주류미가공표면검측방식,본문선택삼충기본재료:K9파리、금속、도자삼충불동재료재동등조건하채용불동공예진행가공,병사용목전주류초광활표면측시의기대기진행검측.통과대조결과,분석각의기측량원리、분변력결정인소,구분조성측량오차적원인급타문각자대조조도삼수적영향.
