电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
9期
14-16,32
,共4页
聚焦离子束%刻蚀速率%离子柱%微悬梁
聚焦離子束%刻蝕速率%離子柱%微懸樑
취초리자속%각식속솔%리자주%미현량
综述了聚焦离子柬系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点.基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进行了硅悬梁微结构刻蚀加工.结果表明,国产聚焦离子束系统可满足硅微悬梁结构加工的应用需要.
綜述瞭聚焦離子柬繫統的結構和基本原理,介紹瞭國產化聚焦離子束繫統的結構與特點.基于國產化聚焦離子束繫統進行瞭硅材料刻蝕實驗,研究瞭硅材料刻蝕速率與離子束流大小的關繫,建立瞭刻蝕速率與束流大小的關繫方程,進行瞭硅懸樑微結構刻蝕加工.結果錶明,國產聚焦離子束繫統可滿足硅微懸樑結構加工的應用需要.
종술료취초리자간계통적결구화기본원리,개소료국산화취초리자속계통적결구여특점.기우국산화취초리자속계통진행료규재료각식실험,연구료규재료각식속솔여리자속류대소적관계,건립료각식속솔여속류대소적관계방정,진행료규현량미결구각식가공.결과표명,국산취초리자속계통가만족규미현량결구가공적응용수요.
