福建师范大学学报（自然科学版）
福建師範大學學報（自然科學版）
복건사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUJIAN TEACHERS UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
6期
49-53
,共5页
肖荣辉%郑卫峰%郑明志%彭福川%赖发春
肖榮輝%鄭衛峰%鄭明誌%彭福川%賴髮春
초영휘%정위봉%정명지%팽복천%뢰발춘
铜薄膜%膜厚%结构%光学性质%电学性质
銅薄膜%膜厚%結構%光學性質%電學性質
동박막%막후%결구%광학성질%전학성질
采用热蒸发方法在玻璃基片上沉积100 nm以内不同厚度的铜薄膜.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和分光光度计分别检测薄膜的结构、表面形貌和光学性质,用Van der Pauw方法测量薄膜的电学性质.结果表明,可以将薄膜按厚度划分为Ⅰ区(0～11.5 nm)的岛状膜、Ⅱ区(11.5～32 nm)的网状膜和Ⅲ区(＞32.0 nm)的连续膜.薄膜的表面粗糙度随膜厚的增加,在Ⅰ、Ⅲ区时增加,Ⅱ区时减小.薄膜电阻在Ⅰ区时无法测量,在Ⅱ区随膜厚的增加急剧下降,而在Ⅲ区时随膜厚增加缓慢减小.薄膜的光学吸收与其表面粗糙度密切相关,其变化规律与表面粗糙度的变化相一致.
採用熱蒸髮方法在玻璃基片上沉積100 nm以內不同厚度的銅薄膜.利用X射線衍射儀、原子力顯微鏡和分光光度計分彆檢測薄膜的結構、錶麵形貌和光學性質,用Van der Pauw方法測量薄膜的電學性質.結果錶明,可以將薄膜按厚度劃分為Ⅰ區(0～11.5 nm)的島狀膜、Ⅱ區(11.5～32 nm)的網狀膜和Ⅲ區(＞32.0 nm)的連續膜.薄膜的錶麵粗糙度隨膜厚的增加,在Ⅰ、Ⅲ區時增加,Ⅱ區時減小.薄膜電阻在Ⅰ區時無法測量,在Ⅱ區隨膜厚的增加急劇下降,而在Ⅲ區時隨膜厚增加緩慢減小.薄膜的光學吸收與其錶麵粗糙度密切相關,其變化規律與錶麵粗糙度的變化相一緻.
채용열증발방법재파리기편상침적100 nm이내불동후도적동박막.이용X사선연사의、원자력현미경화분광광도계분별검측박막적결구、표면형모화광학성질,용Van der Pauw방법측량박막적전학성질.결과표명,가이장박막안후도화분위Ⅰ구(0～11.5 nm)적도상막、Ⅱ구(11.5～32 nm)적망상막화Ⅲ구(＞32.0 nm)적련속막.박막적표면조조도수막후적증가,재Ⅰ、Ⅲ구시증가,Ⅱ구시감소.박막전조재Ⅰ구시무법측량,재Ⅱ구수막후적증가급극하강,이재Ⅲ구시수막후증가완만감소.박막적광학흡수여기표면조조도밀절상관,기변화규률여표면조조도적변화상일치.
