固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2011年
6期
581-585
,共5页
章新栾%王军转%杨森林%杨明珠%陆昉%施毅%郑有炓
章新欒%王軍轉%楊森林%楊明珠%陸昉%施毅%鄭有炓
장신란%왕군전%양삼림%양명주%륙방%시의%정유료
纳米晶硅%Er3+光致发光%敏化效应
納米晶硅%Er3+光緻髮光%敏化效應
납미정규%Er3+광치발광%민화효응
采用脉冲激光沉积制备了掺铒Al2O3/Si多层薄膜,在淀积过程中脉冲激光溅射产生的高能量Er原子渗透进入非晶硅层,并引入了额外的应力,在低退火温度下诱导形成纳米晶Si.利用纳米晶Si作为敏化剂有效地增强了Er3+在Al2O3中的光致发光.样品微观结构和发光强度的关系表明,获得高密度和小尺寸的纳米晶Si和Er3+处于良好的发光环境是实现优化发光的关键,最优化的Er3+发光强度在退火温度为600℃的条件下得到.
採用脈遲激光沉積製備瞭摻鉺Al2O3/Si多層薄膜,在澱積過程中脈遲激光濺射產生的高能量Er原子滲透進入非晶硅層,併引入瞭額外的應力,在低退火溫度下誘導形成納米晶Si.利用納米晶Si作為敏化劑有效地增彊瞭Er3+在Al2O3中的光緻髮光.樣品微觀結構和髮光彊度的關繫錶明,穫得高密度和小呎吋的納米晶Si和Er3+處于良好的髮光環境是實現優化髮光的關鍵,最優化的Er3+髮光彊度在退火溫度為600℃的條件下得到.
채용맥충격광침적제비료참이Al2O3/Si다층박막,재정적과정중맥충격광천사산생적고능량Er원자삼투진입비정규층,병인입료액외적응력,재저퇴화온도하유도형성납미정Si.이용납미정Si작위민화제유효지증강료Er3+재Al2O3중적광치발광.양품미관결구화발광강도적관계표명,획득고밀도화소척촌적납미정Si화Er3+처우량호적발광배경시실현우화발광적관건,최우화적Er3+발광강도재퇴화온도위600℃적조건하득도.
