传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
9期
1194-1198
,共5页
曾垂义%张源%徐甲强%陈学东
曾垂義%張源%徐甲彊%陳學東
증수의%장원%서갑강%진학동
传感器%气压测试%氧化锌%纳米颗粒
傳感器%氣壓測試%氧化鋅%納米顆粒
전감기%기압측시%양화자%납미과립
针对机械系统中气体轴承间气膜压力的分布检测,提出并研发了一种基于ZnO传感器的检测方法.ZnO纳米颗粒敏感材料采用化学沉淀法制备；用X射线衍射和扫描电镜对其进行了表征.利用ZnO传感器的响应电压与动态气体压力的关系,成功测试出高压动态气体的压力.分析了氧气吸附、压电效应和热传导对响应电压的影响,拟合出对应的气体压力-响应电压关系曲线,本研究为高流速气体压力的测试提供了一种新途径.
針對機械繫統中氣體軸承間氣膜壓力的分佈檢測,提齣併研髮瞭一種基于ZnO傳感器的檢測方法.ZnO納米顆粒敏感材料採用化學沉澱法製備；用X射線衍射和掃描電鏡對其進行瞭錶徵.利用ZnO傳感器的響應電壓與動態氣體壓力的關繫,成功測試齣高壓動態氣體的壓力.分析瞭氧氣吸附、壓電效應和熱傳導對響應電壓的影響,擬閤齣對應的氣體壓力-響應電壓關繫麯線,本研究為高流速氣體壓力的測試提供瞭一種新途徑.
침대궤계계통중기체축승간기막압력적분포검측,제출병연발료일충기우ZnO전감기적검측방법.ZnO납미과립민감재료채용화학침정법제비；용X사선연사화소묘전경대기진행료표정.이용ZnO전감기적향응전압여동태기체압력적관계,성공측시출고압동태기체적압력.분석료양기흡부、압전효응화열전도대향응전압적영향,의합출대응적기체압력-향응전압관계곡선,본연구위고류속기체압력적측시제공료일충신도경.
