延边大学学报(自然科学版)
延邊大學學報(自然科學版)
연변대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF YANBIAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
2期
96-99
,共4页
李哲奎%顾广瑞%孙文斗%李全军%赵永年
李哲奎%顧廣瑞%孫文鬥%李全軍%趙永年
리철규%고엄서%손문두%리전군%조영년
TiO2薄膜%Raman光谱%金红石%锐钛矿
TiO2薄膜%Raman光譜%金紅石%銳鈦礦
TiO2박막%Raman광보%금홍석%예태광
用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜,Raman光谱测量表明,工作气压从0.2 Pa变化到2 Pa时,TiO2薄膜的结构由金红石相变化到锐钛矿相,厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.
用射頻磁控濺射方法以純金屬鈦做靶材在氬氧混閤氣體中製備瞭TiO2薄膜,Raman光譜測量錶明,工作氣壓從0.2 Pa變化到2 Pa時,TiO2薄膜的結構由金紅石相變化到銳鈦礦相,厚度對TiO2薄膜結構沒有明顯影響.
용사빈자공천사방법이순금속태주파재재아양혼합기체중제비료TiO2박막,Raman광보측량표명,공작기압종0.2 Pa변화도2 Pa시,TiO2박막적결구유금홍석상변화도예태광상,후도대TiO2박막결구몰유명현영향.
