稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
3期
416-419
,共4页
魏同波%王军喜%李晋闽%刘喆%段瑞飞
魏同波%王軍喜%李晉閩%劉喆%段瑞飛
위동파%왕군희%리진민%류철%단서비
GaN%MOCVD%形貌%机械性能
GaN%MOCVD%形貌%機械性能
GaN%MOCVD%형모%궤계성능
采用MOCVD技术在蓝宝石衬底(0001)面上生长了GaN外延膜,利用原子力显微镜AFM、扫描电镜SEM分析了薄膜表面形貌,利用纳米压痕仪和UMT试验机考察了GaN膜的硬度、临界载荷以及摩擦学性能等.结果表明,薄膜以二维模式均匀生长,表面平整,硬度达22.1 MPa,弹性模量为299.5 GPa,与衬底结合紧密,临界载荷达1.6N,与GCr15钢球对磨时摩擦系数仅为0.13,与Si3N4陶瓷球摩擦时膜很快就磨穿.
採用MOCVD技術在藍寶石襯底(0001)麵上生長瞭GaN外延膜,利用原子力顯微鏡AFM、掃描電鏡SEM分析瞭薄膜錶麵形貌,利用納米壓痕儀和UMT試驗機攷察瞭GaN膜的硬度、臨界載荷以及摩抆學性能等.結果錶明,薄膜以二維模式均勻生長,錶麵平整,硬度達22.1 MPa,彈性模量為299.5 GPa,與襯底結閤緊密,臨界載荷達1.6N,與GCr15鋼毬對磨時摩抆繫數僅為0.13,與Si3N4陶瓷毬摩抆時膜很快就磨穿.
채용MOCVD기술재람보석츤저(0001)면상생장료GaN외연막,이용원자력현미경AFM、소묘전경SEM분석료박막표면형모,이용납미압흔의화UMT시험궤고찰료GaN막적경도、림계재하이급마찰학성능등.결과표명,박막이이유모식균균생장,표면평정,경도체22.1 MPa,탄성모량위299.5 GPa,여츤저결합긴밀,림계재하체1.6N,여GCr15강구대마시마찰계수부위0.13,여Si3N4도자구마찰시막흔쾌취마천.
