中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
1期
125-130
,共6页
激光技术%激光和等离子体混合法%氮化钛%形貌与结构的表征
激光技術%激光和等離子體混閤法%氮化鈦%形貌與結構的錶徵
격광기술%격광화등리자체혼합법%담화태%형모여결구적표정
在大气气氛下,采用连续CO2激光和氮等离子体混合法(LPN)对工业纯钛样品表面进行处理,获得了氮化钛膜层.用扫描电镜(SEM),X射线衍射(XRD)对样品的形貌和结构进行了表征,结果表明在合适的条件下可以获得满意的氮化效果.在激光功率密度2.0×105～1.0×106 W/cm2,扫描速度200～1000 mm/min的区间内,激光功率密度越高,扫描速度越低,氮化效果越好.工业纯钛样品的氮化深度最佳可达80 μm.在有效氮化区域内,氮含量随深度变化迅速,而在过渡区域内,氮含量变化缓慢.
在大氣氣氛下,採用連續CO2激光和氮等離子體混閤法(LPN)對工業純鈦樣品錶麵進行處理,穫得瞭氮化鈦膜層.用掃描電鏡(SEM),X射線衍射(XRD)對樣品的形貌和結構進行瞭錶徵,結果錶明在閤適的條件下可以穫得滿意的氮化效果.在激光功率密度2.0×105～1.0×106 W/cm2,掃描速度200～1000 mm/min的區間內,激光功率密度越高,掃描速度越低,氮化效果越好.工業純鈦樣品的氮化深度最佳可達80 μm.在有效氮化區域內,氮含量隨深度變化迅速,而在過渡區域內,氮含量變化緩慢.
재대기기분하,채용련속CO2격광화담등리자체혼합법(LPN)대공업순태양품표면진행처리,획득료담화태막층.용소묘전경(SEM),X사선연사(XRD)대양품적형모화결구진행료표정,결과표명재합괄적조건하가이획득만의적담화효과.재격광공솔밀도2.0×105～1.0×106 W/cm2,소묘속도200～1000 mm/min적구간내,격광공솔밀도월고,소묘속도월저,담화효과월호.공업순태양품적담화심도최가가체80 μm.재유효담화구역내,담함량수심도변화신속,이재과도구역내,담함량변화완만.
