电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2009年
2期
122-126
,共5页
王国军%吴世法%李旭峰%徐晨彪%潘石
王國軍%吳世法%李旭峰%徐晨彪%潘石
왕국군%오세법%리욱봉%서신표%반석
近场光学%纳米小孔%时域有限差分法%场增强
近場光學%納米小孔%時域有限差分法%場增彊
근장광학%납미소공%시역유한차분법%장증강
采用时域有限差分法对L形和V形纳米小孔进行优化设计.结果表明,两种小孔的出射峰值光强均比具有相同开孔面积的方孔提高了两个数量级.发现在具有相近峰值光强的情况下,且在距离出射面小于60nm的范围内,V形孔光斑尺寸在x方向和y方向的宽度可以比L形孔的光斑小10～15nm.本文对优化设计L形和V形小孔在纳米显微、光存储、光刻、光学操作等近场光学应用领域方面,具有一定的指导意义.
採用時域有限差分法對L形和V形納米小孔進行優化設計.結果錶明,兩種小孔的齣射峰值光彊均比具有相同開孔麵積的方孔提高瞭兩箇數量級.髮現在具有相近峰值光彊的情況下,且在距離齣射麵小于60nm的範圍內,V形孔光斑呎吋在x方嚮和y方嚮的寬度可以比L形孔的光斑小10～15nm.本文對優化設計L形和V形小孔在納米顯微、光存儲、光刻、光學操作等近場光學應用領域方麵,具有一定的指導意義.
채용시역유한차분법대L형화V형납미소공진행우화설계.결과표명,량충소공적출사봉치광강균비구유상동개공면적적방공제고료량개수량급.발현재구유상근봉치광강적정황하,차재거리출사면소우60nm적범위내,V형공광반척촌재x방향화y방향적관도가이비L형공적광반소10～15nm.본문대우화설계L형화V형소공재납미현미、광존저、광각、광학조작등근장광학응용영역방면,구유일정적지도의의.
