功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
11期
1907-1910
,共4页
刘瑞文%焦斌斌%欧毅%陈大鹏
劉瑞文%焦斌斌%歐毅%陳大鵬
류서문%초빈빈%구의%진대붕
等离子增强化学气相淀积(PECVD)%SiNx薄膜%湿法腐蚀
等離子增彊化學氣相澱積(PECVD)%SiNx薄膜%濕法腐蝕
등리자증강화학기상정적(PECVD)%SiNx박막%습법부식
研究了一种可抗高温强碱溶液腐蚀的氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积(PECVD)生长工艺.通过X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振仪、湿法腐蚀等手段分析了所生长薄膜的元素含量、折射率、抗腐蚀特性等性质随淀积工艺条件的改变所产生的变化.制备出的氮化硅薄膜可在高温强碱溶液(70℃、33.3% KOH溶液)中支撑12h而无明显变化,并实现自支撑全镂空薄膜.
研究瞭一種可抗高溫彊堿溶液腐蝕的氮化硅薄膜的等離子增彊化學氣相澱積(PECVD)生長工藝.通過X射線光電子能譜(XPS)、橢圓偏振儀、濕法腐蝕等手段分析瞭所生長薄膜的元素含量、摺射率、抗腐蝕特性等性質隨澱積工藝條件的改變所產生的變化.製備齣的氮化硅薄膜可在高溫彊堿溶液(70℃、33.3% KOH溶液)中支撐12h而無明顯變化,併實現自支撐全鏤空薄膜.
연구료일충가항고온강감용액부식적담화규박막적등리자증강화학기상정적(PECVD)생장공예.통과X사선광전자능보(XPS)、타원편진의、습법부식등수단분석료소생장박막적원소함량、절사솔、항부식특성등성질수정적공예조건적개변소산생적변화.제비출적담화규박막가재고온강감용액(70℃、33.3% KOH용액)중지탱12h이무명현변화,병실현자지탱전루공박막.
