实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2010年
11期
16-20,24
,共6页
王胜强%李冬玲%尚正国%贺学锋
王勝彊%李鼕玲%尚正國%賀學鋒
왕성강%리동령%상정국%하학봉
微电子机械系统%超净间%管理
微電子機械繫統%超淨間%管理
미전자궤계계통%초정간%관리
微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基础条件.超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要.结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索.
微加工超淨實驗室是微機電繫統(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基礎條件.超淨實驗室涉及多種大型微加工設備和相應的純水、高純氣體、空氣淨化及空調等輔助繫統,其管理顯得十分重要.結閤重慶大學微機電繫統加工實驗室,對其現場管理、保障繫統運行和設備管理、節能和高效利用、設計和技術管理等進行瞭簡單介紹,同時對MEMS微加工工藝開髮與技術管理進行瞭初步探索.
미가공초정실험실시미궤전계통(micro-electro-mechanical systems,MEMS)연구적기출조건.초정실험실섭급다충대형미가공설비화상응적순수、고순기체、공기정화급공조등보조계통,기관리현득십분중요.결합중경대학미궤전계통가공실험실,대기현장관리、보장계통운행화설비관리、절능화고효이용、설계화기술관리등진행료간단개소,동시대MEMS미가공공예개발여기술관리진행료초보탐색.
