微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
10期
660-663
,共4页
吴鹏飞%张国俊%钟志亲%戴丽萍%王姝娅
吳鵬飛%張國俊%鐘誌親%戴麗萍%王姝婭
오붕비%장국준%종지친%대려평%왕주아
微机电系统(MEMS)%平面微弹簧%卡氏第二定律%弹性系数%有限元方法(FEM)
微機電繫統(MEMS)%平麵微彈簧%卡氏第二定律%彈性繫數%有限元方法(FEM)
미궤전계통(MEMS)%평면미탄황%잡씨제이정률%탄성계수%유한원방법(FEM)
对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2％.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律,结果表明,弹性系数随节数和弯半径的增大而减小,随梁宽和厚度的增大而增大.研究结果为其他封闭结构的MEMS平面微弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.
對封閉O型MEMS平麵微彈簧建立力學分析模型,用卡氏第二定律和鬍剋定律推導齣這種平麵微彈簧彈性繫數的計算公式,併用ANSYS進行有限元倣真,倣真結果錶明,兩者的相對誤差低于2％.在計算公式和倣真的基礎上,研究瞭各種結構參數對彈性繫數的影響規律,結果錶明,彈性繫數隨節數和彎半徑的增大而減小,隨樑寬和厚度的增大而增大.研究結果為其他封閉結構的MEMS平麵微彈簧的分析和設計提供瞭一定的藉鑒.
대봉폐O형MEMS평면미탄황건립역학분석모형,용잡씨제이정률화호극정률추도출저충평면미탄황탄성계수적계산공식,병용ANSYS진행유한원방진,방진결과표명,량자적상대오차저우2％.재계산공식화방진적기출상,연구료각충결구삼수대탄성계수적영향규률,결과표명,탄성계수수절수화만반경적증대이감소,수량관화후도적증대이증대.연구결과위기타봉폐결구적MEMS평면미탄황적분석화설계제공료일정적차감.
