光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
12期
1865-1869
,共5页
李均盛%范琦%莫卫东%杨百愚%冯明德%陈红雅
李均盛%範琦%莫衛東%楊百愚%馮明德%陳紅雅
리균성%범기%막위동%양백우%풍명덕%진홍아
非球面%最佳匹配球%点衍射%光线追迹
非毬麵%最佳匹配毬%點衍射%光線追跡
비구면%최가필배구%점연사%광선추적
针对非球面点衍射干涉检测中的欠采样问题,为了减小干涉条纹的密度,提出了一种基于最小反射会聚光斑半径求解最佳匹配球球心位置的方法.首先分析了获取最佳匹配球球心位置对实现非球面光学元件高准确度面形检测所起的重要作用,指出了以最小反射会聚光斑作为最佳匹配球球心位置的判断依据；然后运用光线追迹和迭代法推导了最佳匹配球球心位置的计算模型,并比较了各种非球面度定义下的最佳匹配球球心位置；最后分析了非球面参量对最佳匹配球球心位置及会聚光斑半径的影响.结果表明,基于最小会聚光斑半径求得的最佳匹配球面参量是适合非球面点衍射干涉检测模型的,并可以用于指导干涉仪的装调及后续波前重建参量的确定.
針對非毬麵點衍射榦涉檢測中的欠採樣問題,為瞭減小榦涉條紋的密度,提齣瞭一種基于最小反射會聚光斑半徑求解最佳匹配毬毬心位置的方法.首先分析瞭穫取最佳匹配毬毬心位置對實現非毬麵光學元件高準確度麵形檢測所起的重要作用,指齣瞭以最小反射會聚光斑作為最佳匹配毬毬心位置的判斷依據；然後運用光線追跡和迭代法推導瞭最佳匹配毬毬心位置的計算模型,併比較瞭各種非毬麵度定義下的最佳匹配毬毬心位置；最後分析瞭非毬麵參量對最佳匹配毬毬心位置及會聚光斑半徑的影響.結果錶明,基于最小會聚光斑半徑求得的最佳匹配毬麵參量是適閤非毬麵點衍射榦涉檢測模型的,併可以用于指導榦涉儀的裝調及後續波前重建參量的確定.
침대비구면점연사간섭검측중적흠채양문제,위료감소간섭조문적밀도,제출료일충기우최소반사회취광반반경구해최가필배구구심위치적방법.수선분석료획취최가필배구구심위치대실현비구면광학원건고준학도면형검측소기적중요작용,지출료이최소반사회취광반작위최가필배구구심위치적판단의거；연후운용광선추적화질대법추도료최가필배구구심위치적계산모형,병비교료각충비구면도정의하적최가필배구구심위치；최후분석료비구면삼량대최가필배구구심위치급회취광반반경적영향.결과표명,기우최소회취광반반경구득적최가필배구면삼량시괄합비구면점연사간섭검측모형적,병가이용우지도간섭의적장조급후속파전중건삼량적학정.
