材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
1期
113-115,125
,共4页
朱仁江%孔春阳%马勇%王万录%廖克俊
硃仁江%孔春暘%馬勇%王萬錄%廖剋俊
주인강%공춘양%마용%왕만록%료극준
氧化锌%p型掺杂%共掺杂%V族元素
氧化鋅%p型摻雜%共摻雜%V族元素
양화자%p형참잡%공참잡%V족원소
ZnO薄膜作为第三代半导体功能材料,高质量的p型掺杂是基于光电器件应用的关键.概述了ZnO薄膜V族元素氮、磷、砷(N、P、As)p型掺杂的研究进展,分析对比了3种元素的掺杂和p型转变特性,简单介绍了共掺杂技术,提出了有待进一步研究的问题.
ZnO薄膜作為第三代半導體功能材料,高質量的p型摻雜是基于光電器件應用的關鍵.概述瞭ZnO薄膜V族元素氮、燐、砷(N、P、As)p型摻雜的研究進展,分析對比瞭3種元素的摻雜和p型轉變特性,簡單介紹瞭共摻雜技術,提齣瞭有待進一步研究的問題.
ZnO박막작위제삼대반도체공능재료,고질량적p형참잡시기우광전기건응용적관건.개술료ZnO박막V족원소담、린、신(N、P、As)p형참잡적연구진전,분석대비료3충원소적참잡화p형전변특성,간단개소료공참잡기술,제출료유대진일보연구적문제.
