半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
5期
937-943
,共7页
霍明学%汤小川%尹亮%刘晓为%王喜莲
霍明學%湯小川%尹亮%劉曉為%王喜蓮
곽명학%탕소천%윤량%류효위%왕희련
相变热驱动%自检测%压力传感器
相變熱驅動%自檢測%壓力傳感器
상변열구동%자검측%압력전감기
提出一种新型压力传感器自检测方法--相变热驱动法.在压力传感器的密封腔中填充相变物质,利用相变物质气化后所产生的巨大压力实现自检测功能.通过控制压力腔中相变物质的填充量与加热电阻的加热功率,可以实现不同量程压力传感器的自检测.基于相变热驱动法研制了一种单晶硅大量程自检测压力传感器,传感器为硅-玻璃-硅三层结构,通过静电键合与热键合技术制备.测试结果显示,自检测电压输出为满量程输出的6.8%,综合精度高于2.1‰.
提齣一種新型壓力傳感器自檢測方法--相變熱驅動法.在壓力傳感器的密封腔中填充相變物質,利用相變物質氣化後所產生的巨大壓力實現自檢測功能.通過控製壓力腔中相變物質的填充量與加熱電阻的加熱功率,可以實現不同量程壓力傳感器的自檢測.基于相變熱驅動法研製瞭一種單晶硅大量程自檢測壓力傳感器,傳感器為硅-玻璃-硅三層結構,通過靜電鍵閤與熱鍵閤技術製備.測試結果顯示,自檢測電壓輸齣為滿量程輸齣的6.8%,綜閤精度高于2.1‰.
제출일충신형압력전감기자검측방법--상변열구동법.재압력전감기적밀봉강중전충상변물질,이용상변물질기화후소산생적거대압력실현자검측공능.통과공제압력강중상변물질적전충량여가열전조적가열공솔,가이실현불동량정압력전감기적자검측.기우상변열구동법연제료일충단정규대량정자검측압력전감기,전감기위규-파리-규삼층결구,통과정전건합여열건합기술제비.측시결과현시,자검측전압수출위만량정수출적6.8%,종합정도고우2.1‰.
