真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
397-403
,共7页
王静%刘贵昌%汲大鹏%徐军%邓新禄
王靜%劉貴昌%伋大鵬%徐軍%鄧新祿
왕정%류귀창%급대붕%서군%산신록
类金刚石膜%铜基体%过渡层%拉曼光谱(Raman)%原子力显微镜(AFM)%纳米压痕
類金剛石膜%銅基體%過渡層%拉曼光譜(Raman)%原子力顯微鏡(AFM)%納米壓痕
류금강석막%동기체%과도층%랍만광보(Raman)%원자력현미경(AFM)%납미압흔
将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备丽种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜.拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征.通过原子力显微镜对薄膜的微观形貌进行分析,采用纳米压痕测量薄膜的硬度和模量.并对Ti/TiC过渡层和Si/SixNy过渡层上沉积的类金刚石薄膜进行了研究对比.
將磁控濺射物理氣相沉積(MS-PVD)和電子迴鏇共振-微波等離子體增彊化學氣相沉積(ECR-PECVD)技術相結閤,在銅基體上通過製備麗種不同的過渡層,成功地沉積瞭類金剛石膜.拉曼光譜結果分析錶明,所製備的碳膜都具有典型的類金剛石結構特徵.通過原子力顯微鏡對薄膜的微觀形貌進行分析,採用納米壓痕測量薄膜的硬度和模量.併對Ti/TiC過渡層和Si/SixNy過渡層上沉積的類金剛石薄膜進行瞭研究對比.
장자공천사물리기상침적(MS-PVD)화전자회선공진-미파등리자체증강화학기상침적(ECR-PECVD)기술상결합,재동기체상통과제비려충불동적과도층,성공지침적료류금강석막.랍만광보결과분석표명,소제비적탄막도구유전형적류금강석결구특정.통과원자력현미경대박막적미관형모진행분석,채용납미압흔측량박막적경도화모량.병대Ti/TiC과도층화Si/SixNy과도층상침적적류금강석박막진행료연구대비.
