中国科技财富
中國科技財富
중국과기재부
FORTUNE WORLD
2011年
20期
93-93
,共1页
微机电系统%加工工艺%MEMS
微機電繫統%加工工藝%MEMS
미궤전계통%가공공예%MEMS
微机电系统（MEMS）是一个多学科交叉的前沿科学研究领域。本文介绍了微机电系统的组成、研究背景以及发展状况，最后分析了目前微机电技术存在的问题以及今后的发展方向。
微機電繫統（MEMS）是一箇多學科交扠的前沿科學研究領域。本文介紹瞭微機電繫統的組成、研究揹景以及髮展狀況，最後分析瞭目前微機電技術存在的問題以及今後的髮展方嚮。
미궤전계통（MEMS）시일개다학과교차적전연과학연구영역。본문개소료미궤전계통적조성、연구배경이급발전상황，최후분석료목전미궤전기술존재적문제이급금후적발전방향。
