电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
9期
21-24
,共4页
全自动%晶圆%可靠性
全自動%晶圓%可靠性
전자동%정원%가고성
Automation%Wafer%Reliability
介绍了半导体全自动晶圆划切设备的总体结构和功能以及提高可靠性的一些方法,通过采用这些方法,将整体系统内各部分彼此的关系用图示表现,进而以表示出来的关系计算出可靠性。
介紹瞭半導體全自動晶圓劃切設備的總體結構和功能以及提高可靠性的一些方法,通過採用這些方法,將整體繫統內各部分彼此的關繫用圖示錶現,進而以錶示齣來的關繫計算齣可靠性。
개소료반도체전자동정원화절설비적총체결구화공능이급제고가고성적일사방법,통과채용저사방법,장정체계통내각부분피차적관계용도시표현,진이이표시출래적관계계산출가고성。
The paper is focused on the reliability of wafer automated dicing machine,the work introduces the configuration and function of wafer automated dicing machine,and introduces some methods of reliability,by using these methods,this work relates components in the whole system using graphs,reliability is calculated by the relation of the components.
