计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2011年
9期
15-18
,共4页
宋建%韦胜杰%于意奇%胡珀%杨燕华
宋建%韋勝傑%于意奇%鬍珀%楊燕華
송건%위성걸%우의기%호박%양연화
电容探针%动态水膜厚度%水膜表面波形态%误差分析%探针有效截面
電容探針%動態水膜厚度%水膜錶麵波形態%誤差分析%探針有效截麵
전용탐침%동태수막후도%수막표면파형태%오차분석%탐침유효절면
本文指出了电容探针测量动态水膜厚度的若干影响冈素,并针对其中主要因素水膜表面波形态对测量的影响进行了定量分析.同时,定性分析了影响测量的诸如电容探针有效截面、平板表面水膜覆盖情况和水膜波动速度及采样频率等其它因素对于测量的影响.误差分析表明,电容探针的测量误差与探针有效截面面积、探针截面与波动表面夹角成正比,与测量值的绝对值成反比.
本文指齣瞭電容探針測量動態水膜厚度的若榦影響岡素,併針對其中主要因素水膜錶麵波形態對測量的影響進行瞭定量分析.同時,定性分析瞭影響測量的諸如電容探針有效截麵、平闆錶麵水膜覆蓋情況和水膜波動速度及採樣頻率等其它因素對于測量的影響.誤差分析錶明,電容探針的測量誤差與探針有效截麵麵積、探針截麵與波動錶麵夾角成正比,與測量值的絕對值成反比.
본문지출료전용탐침측량동태수막후도적약간영향강소,병침대기중주요인소수막표면파형태대측량적영향진행료정량분석.동시,정성분석료영향측량적제여전용탐침유효절면、평판표면수막복개정황화수막파동속도급채양빈솔등기타인소대우측량적영향.오차분석표명,전용탐침적측량오차여탐침유효절면면적、탐침절면여파동표면협각성정비,여측량치적절대치성반비.
