传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2010年
12期
1690-1694
,共5页
王世涛%贾玉斌%张斌珍%黄钦文%郝一龙
王世濤%賈玉斌%張斌珍%黃欽文%郝一龍
왕세도%가옥빈%장빈진%황흠문%학일룡
微加速度计%可靠性%冲击%缓冲材料%金属橡胶
微加速度計%可靠性%遲擊%緩遲材料%金屬橡膠
미가속도계%가고성%충격%완충재료%금속상효
通过实验研究了梳齿电容微加速度计器件在大过载冲击下的失效模式,发现了失效的主要原因是由于弹性梁的断裂,并对实验现象进行了分析和讨论,指出了微加工工艺的不确定性对器件失效的影响.检验了在结构设计中对可动质量块进行限位的作用,可以明显提高器件的抗冲击能力.提出了金属橡胶这一新材料在微加速度计冲击防护中的应用,并对其作用进行了实验验证,结果表明金属橡胶除了靠金属螺旋卷接触点之间的相互摩擦来耗散能量外,还可以明显增加冲击脉冲的宽度,有效的缓冲和吸收冲击能,提高器件的抗冲击能力和可靠性.
通過實驗研究瞭梳齒電容微加速度計器件在大過載遲擊下的失效模式,髮現瞭失效的主要原因是由于彈性樑的斷裂,併對實驗現象進行瞭分析和討論,指齣瞭微加工工藝的不確定性對器件失效的影響.檢驗瞭在結構設計中對可動質量塊進行限位的作用,可以明顯提高器件的抗遲擊能力.提齣瞭金屬橡膠這一新材料在微加速度計遲擊防護中的應用,併對其作用進行瞭實驗驗證,結果錶明金屬橡膠除瞭靠金屬螺鏇捲接觸點之間的相互摩抆來耗散能量外,還可以明顯增加遲擊脈遲的寬度,有效的緩遲和吸收遲擊能,提高器件的抗遲擊能力和可靠性.
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