中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
6期
1563-1568
,共6页
王胭脂%邵建达%晋云霞%黄建兵%张伟丽%董洪成%贺洪波%范正修
王胭脂%邵建達%晉雲霞%黃建兵%張偉麗%董洪成%賀洪波%範正脩
왕연지%소건체%진운하%황건병%장위려%동홍성%하홍파%범정수
薄膜%负色散镜%Gires-Tournois%误差分析%群延迟色散%折射率%膜厚
薄膜%負色散鏡%Gires-Tournois%誤差分析%群延遲色散%摺射率%膜厚
박막%부색산경%Gires-Tournois%오차분석%군연지색산%절사솔%막후
负色散镜的色散补偿性能对设计和制备的精度要求都非常高,折射率和薄膜物理厚度是其性能准确实现的必要参数.实验设计并镀制了Gires-Tournois(G-T)镜,结合电场强度分布及薄膜的群延迟色散(GDD)、扫描电镜的测量结果,从材料折射率、膜层厚度、敏感膜层的变化及界面粗糙度等主要因素对Gires-Tournois镜群延迟色散性能的影响进行了分析.研究表明:设计时采用的材料折射率要根据实际实验计算得到;群延迟色散量随着总的膜层厚度和腔的厚度增加而增加;电场强度的分布决定色散补偿能力及敏感膜层的位置,最薄的膜层不一定是最敏感的膜层,敏感膜层对沉积厚度控制精度要求非常高;薄膜的界面粗糙度和不均匀性也是误差产生的重要原因.
負色散鏡的色散補償性能對設計和製備的精度要求都非常高,摺射率和薄膜物理厚度是其性能準確實現的必要參數.實驗設計併鍍製瞭Gires-Tournois(G-T)鏡,結閤電場彊度分佈及薄膜的群延遲色散(GDD)、掃描電鏡的測量結果,從材料摺射率、膜層厚度、敏感膜層的變化及界麵粗糙度等主要因素對Gires-Tournois鏡群延遲色散性能的影響進行瞭分析.研究錶明:設計時採用的材料摺射率要根據實際實驗計算得到;群延遲色散量隨著總的膜層厚度和腔的厚度增加而增加;電場彊度的分佈決定色散補償能力及敏感膜層的位置,最薄的膜層不一定是最敏感的膜層,敏感膜層對沉積厚度控製精度要求非常高;薄膜的界麵粗糙度和不均勻性也是誤差產生的重要原因.
부색산경적색산보상성능대설계화제비적정도요구도비상고,절사솔화박막물리후도시기성능준학실현적필요삼수.실험설계병도제료Gires-Tournois(G-T)경,결합전장강도분포급박막적군연지색산(GDD)、소묘전경적측량결과,종재료절사솔、막층후도、민감막층적변화급계면조조도등주요인소대Gires-Tournois경군연지색산성능적영향진행료분석.연구표명:설계시채용적재료절사솔요근거실제실험계산득도;군연지색산량수착총적막층후도화강적후도증가이증가;전장강도적분포결정색산보상능력급민감막층적위치,최박적막층불일정시최민감적막층,민감막층대침적후도공제정도요구비상고;박막적계면조조도화불균균성야시오차산생적중요원인.
