沈阳工业大学学报
瀋暘工業大學學報
침양공업대학학보
JOURNAL OF SHENYANG POLYTECHNIC UNIVERSITY
2009年
2期
186-190
,共5页
氮化硅%自蔓延%稀释剂%形成机理%长大方式
氮化硅%自蔓延%稀釋劑%形成機理%長大方式
담화규%자만연%희석제%형성궤리%장대방식
针对自蔓延制备氮化硅过程迅速,但可控性差的问题,研究了氮化硅晶粒在自蔓延中的生长过程及一些特殊形状晶粒形成的原因.通过设计累积试验、借助扫描电镜观察粉体形貌、讨论分析氮化硅α相和β相形成机理说明,颗粒有限长大是生长和分解达到平衡后实现的,波浪形和凹面状颗粒是晶粒在类似液相烧结和固相烧结共同作用下产生的,"树杈"状颗粒是β相氮化硅在氮化硅"籽晶"上生长和液相烧结作用下形成的.研究表明,要减小自蔓延制备氮化硅粉体的粒度、阻碍颗粒异常长大,需要合理控制稀释剂比例,降低反应温度.
針對自蔓延製備氮化硅過程迅速,但可控性差的問題,研究瞭氮化硅晶粒在自蔓延中的生長過程及一些特殊形狀晶粒形成的原因.通過設計纍積試驗、藉助掃描電鏡觀察粉體形貌、討論分析氮化硅α相和β相形成機理說明,顆粒有限長大是生長和分解達到平衡後實現的,波浪形和凹麵狀顆粒是晶粒在類似液相燒結和固相燒結共同作用下產生的,"樹杈"狀顆粒是β相氮化硅在氮化硅"籽晶"上生長和液相燒結作用下形成的.研究錶明,要減小自蔓延製備氮化硅粉體的粒度、阻礙顆粒異常長大,需要閤理控製稀釋劑比例,降低反應溫度.
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