河南教育学院学报（自然科学版）
河南教育學院學報（自然科學版）
하남교육학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN EDUCATION INSTITUTE (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
4期
18-19
,共2页
磁控溅射%ZAO膜%电阻率%透光率
磁控濺射%ZAO膜%電阻率%透光率
자공천사%ZAO막%전조솔%투광솔
采用直流磁控溅射ZAO陶瓷靶的工艺,在玻璃衬底上成功地镀制了ZAO透明半导体膜,获得了电阻率6×10-4 Ωcm和可见光透过率85%以上的ZAO薄膜最佳光电特性参数.
採用直流磁控濺射ZAO陶瓷靶的工藝,在玻璃襯底上成功地鍍製瞭ZAO透明半導體膜,穫得瞭電阻率6×10-4 Ωcm和可見光透過率85%以上的ZAO薄膜最佳光電特性參數.
채용직류자공천사ZAO도자파적공예,재파리츤저상성공지도제료ZAO투명반도체막,획득료전조솔6×10-4 Ωcm화가견광투과솔85%이상적ZAO박막최가광전특성삼수.
