热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2008年
18期
37-39
,共3页
卫广智%齐福利%陈肖虎%查少华%杨善志
衛廣智%齊福利%陳肖虎%查少華%楊善誌
위엄지%제복리%진초호%사소화%양선지
生长区%动力学%生长速率%蒸汽压
生長區%動力學%生長速率%蒸汽壓
생장구%동역학%생장속솔%증기압
利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛,对低价钛卤盐的热裂解作了动力学研究;重点分析该法制备高纯钛过程中,沉积基体温度和低价钛卤盐蒸气压对钛生长过程的影响.得出钛的生长速率与基体温度和低价钛卤盐蒸气压的关系式,并计算出低价钛卤盐蒸气压为86.1 Pa时低价钛卤盐热裂解的表观活化能;讨论了整个反应历程,发现在生长区(沉积基体附近)内低价钛卤盐的迁移是该过程的速率控制步骤.
利用化學氣相沉積(CVD)法製備高純鈦,對低價鈦滷鹽的熱裂解作瞭動力學研究;重點分析該法製備高純鈦過程中,沉積基體溫度和低價鈦滷鹽蒸氣壓對鈦生長過程的影響.得齣鈦的生長速率與基體溫度和低價鈦滷鹽蒸氣壓的關繫式,併計算齣低價鈦滷鹽蒸氣壓為86.1 Pa時低價鈦滷鹽熱裂解的錶觀活化能;討論瞭整箇反應歷程,髮現在生長區(沉積基體附近)內低價鈦滷鹽的遷移是該過程的速率控製步驟.
이용화학기상침적(CVD)법제비고순태,대저개태서염적열렬해작료동역학연구;중점분석해법제비고순태과정중,침적기체온도화저개태서염증기압대태생장과정적영향.득출태적생장속솔여기체온도화저개태서염증기압적관계식,병계산출저개태서염증기압위86.1 Pa시저개태서염열렬해적표관활화능;토론료정개반응역정,발현재생장구(침적기체부근)내저개태서염적천이시해과정적속솔공제보취.
