摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2008年
1期
6-10
,共5页
刘建喜%赵晶%刘志鲁%陈淼
劉建喜%趙晶%劉誌魯%陳淼
류건희%조정%류지로%진묘
原子力显微镜(AFM)%十八烷基三氯硅烷(OTS)%纳米加工%摩擦力%力分布成像
原子力顯微鏡(AFM)%十八烷基三氯硅烷(OTS)%納米加工%摩抆力%力分佈成像
원자력현미경(AFM)%십팔완기삼록규완(OTS)%납미가공%마찰력%력분포성상
在羟基化Si(111)表面制备十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子膜,利用AFM机械刻蚀技术,通过自编程序设计针尖走向,以金刚石针尖作为加工工具,在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面刻蚀不同结构的纳米图案,通过预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度.结果表明:利用原子力显微镜(AFM)机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案,其中载荷与加工深度基本呈线性关系;所获得的纳米图案结构清晰,刻蚀试验的重复性较好;经过刻蚀后的图案化区域为裸露的SiO2/Si表面,与OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大,其表面性质具有明显的可分辨性.
在羥基化Si(111)錶麵製備十八烷基三氯硅烷(OTS)自組裝單分子膜,利用AFM機械刻蝕技術,通過自編程序設計針尖走嚮,以金剛石針尖作為加工工具,在OTS自組裝單分子膜的Si(111)錶麵刻蝕不同結構的納米圖案,通過預設針尖移動距離和掃描頭Z嚮位移等參數控製納米結構的大小和深度.結果錶明:利用原子力顯微鏡(AFM)機械刻蝕技術在OTS自組裝單分子膜的Si(111)錶麵加工齣大小、深度可控的納米圖案,其中載荷與加工深度基本呈線性關繫;所穫得的納米圖案結構清晰,刻蝕試驗的重複性較好;經過刻蝕後的圖案化區域為裸露的SiO2/Si錶麵,與OTS覆蓋區域相比其摩抆力和粘附力較大,其錶麵性質具有明顯的可分辨性.
재간기화Si(111)표면제비십팔완기삼록규완(OTS)자조장단분자막,이용AFM궤계각식기술,통과자편정서설계침첨주향,이금강석침첨작위가공공구,재OTS자조장단분자막적Si(111)표면각식불동결구적납미도안,통과예설침첨이동거리화소묘두Z향위이등삼수공제납미결구적대소화심도.결과표명:이용원자력현미경(AFM)궤계각식기술재OTS자조장단분자막적Si(111)표면가공출대소、심도가공적납미도안,기중재하여가공심도기본정선성관계;소획득적납미도안결구청석,각식시험적중복성교호;경과각식후적도안화구역위라로적SiO2/Si표면,여OTS복개구역상비기마찰력화점부력교대,기표면성질구유명현적가분변성.
