光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
35-41
,共7页
杨志甫%杨辉%李成贵%刘档%房建国
楊誌甫%楊輝%李成貴%劉檔%房建國
양지보%양휘%리성귀%류당%방건국
微晶玻璃%超光滑表面%粗糙度%定偏心浸液式抛光%Hilbert-Huang 变换(HHT)
微晶玻璃%超光滑錶麵%粗糙度%定偏心浸液式拋光%Hilbert-Huang 變換(HHT)
미정파리%초광활표면%조조도%정편심침액식포광%Hilbert-Huang 변환(HHT)
针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法-定偏心浸液式抛光.分析了微晶玻璃的性能和微观结构,得出实现其超光滑表面加工所必须的技术条件.系统论述了提出的超光滑表面抛光方法的基本原理及其抛光工艺过程.通过多次工艺实验,稳定地获得了埃量级的超光滑表面.最后,采用Hilbert-Huang变换(HHT)非线性平稳信号的时域分析法,通过超光滑表面粗糙度分布曲线到Hilbert谱的一系列数学变换,得出主要抛光工艺参数与表面粗糙度之间的影响关系,对实际加工工艺过程与抛光结果进行有效反馈和指导.基于HHT的超光滑表面抛光方法可以稳定地获得Ra优于0.35 nm的微晶玻璃超光滑表面,目前最好结果为Ra=0.3 nm.
針對激光陀螺反射鏡常用材料微晶玻璃的加工技術,介紹瞭一種較為成熟的超光滑錶麵加工方法-定偏心浸液式拋光.分析瞭微晶玻璃的性能和微觀結構,得齣實現其超光滑錶麵加工所必鬚的技術條件.繫統論述瞭提齣的超光滑錶麵拋光方法的基本原理及其拋光工藝過程.通過多次工藝實驗,穩定地穫得瞭埃量級的超光滑錶麵.最後,採用Hilbert-Huang變換(HHT)非線性平穩信號的時域分析法,通過超光滑錶麵粗糙度分佈麯線到Hilbert譜的一繫列數學變換,得齣主要拋光工藝參數與錶麵粗糙度之間的影響關繫,對實際加工工藝過程與拋光結果進行有效反饋和指導.基于HHT的超光滑錶麵拋光方法可以穩定地穫得Ra優于0.35 nm的微晶玻璃超光滑錶麵,目前最好結果為Ra=0.3 nm.
침대격광타라반사경상용재료미정파리적가공기술,개소료일충교위성숙적초광활표면가공방법-정편심침액식포광.분석료미정파리적성능화미관결구,득출실현기초광활표면가공소필수적기술조건.계통논술료제출적초광활표면포광방법적기본원리급기포광공예과정.통과다차공예실험,은정지획득료애량급적초광활표면.최후,채용Hilbert-Huang변환(HHT)비선성평은신호적시역분석법,통과초광활표면조조도분포곡선도Hilbert보적일계렬수학변환,득출주요포광공예삼수여표면조조도지간적영향관계,대실제가공공예과정여포광결과진행유효반궤화지도.기우HHT적초광활표면포광방법가이은정지획득Ra우우0.35 nm적미정파리초광활표면,목전최호결과위Ra=0.3 nm.
