激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2007年
z1期
910-914
,共5页
焦翠灵%赵守仁%陈新强%魏彦锋
焦翠靈%趙守仁%陳新彊%魏彥鋒
초취령%조수인%진신강%위언봉
HgCdTe%晶格失配%X光衍射%探测率
HgCdTe%晶格失配%X光衍射%探測率
HgCdTe%정격실배%X광연사%탐측솔
文章采用富Te水平推舟液相外延工艺在CdZnTe衬底上生长了HgCdTe外延薄膜.研究了外延薄膜/衬底晶格失配度、X光衍射貌相、红外焦平面器件探测率三者之间的关系.对于HgCdTe外延层的X光衍射貌相我们将其大致分为五类,分别是Crosshatch貌相、混合貌相、均匀背景貌相、Mosaic貌相以及由衬底质量问题引起的沟壑状貌相,采用Crosshatch貌相和混合貌相材料所制备的红外焦平面器件,平均来说其探测率(D*)较高.X射线双轴衍射的实验结果表明,当外延层与衬底的晶格失配度为～0.03%时,外延层会呈现明显的Crosshatch貌相;而当失配度减小时,会逐渐呈现出混合貌相、均匀背景貌相、直至失配度为负值时呈现Mosaic貌相.因此,对于特定截止波长的HgCdTe焦平面器件,可以通过控制HgCdTe/CdZnTe之间的失配,生长出符合我们要求的貌相的碲镉汞外延材料,从而来提高焦平面器件的性能.
文章採用富Te水平推舟液相外延工藝在CdZnTe襯底上生長瞭HgCdTe外延薄膜.研究瞭外延薄膜/襯底晶格失配度、X光衍射貌相、紅外焦平麵器件探測率三者之間的關繫.對于HgCdTe外延層的X光衍射貌相我們將其大緻分為五類,分彆是Crosshatch貌相、混閤貌相、均勻揹景貌相、Mosaic貌相以及由襯底質量問題引起的溝壑狀貌相,採用Crosshatch貌相和混閤貌相材料所製備的紅外焦平麵器件,平均來說其探測率(D*)較高.X射線雙軸衍射的實驗結果錶明,噹外延層與襯底的晶格失配度為～0.03%時,外延層會呈現明顯的Crosshatch貌相;而噹失配度減小時,會逐漸呈現齣混閤貌相、均勻揹景貌相、直至失配度為負值時呈現Mosaic貌相.因此,對于特定截止波長的HgCdTe焦平麵器件,可以通過控製HgCdTe/CdZnTe之間的失配,生長齣符閤我們要求的貌相的碲鎘汞外延材料,從而來提高焦平麵器件的性能.
문장채용부Te수평추주액상외연공예재CdZnTe츤저상생장료HgCdTe외연박막.연구료외연박막/츤저정격실배도、X광연사모상、홍외초평면기건탐측솔삼자지간적관계.대우HgCdTe외연층적X광연사모상아문장기대치분위오류,분별시Crosshatch모상、혼합모상、균균배경모상、Mosaic모상이급유츤저질량문제인기적구학상모상,채용Crosshatch모상화혼합모상재료소제비적홍외초평면기건,평균래설기탐측솔(D*)교고.X사선쌍축연사적실험결과표명,당외연층여츤저적정격실배도위～0.03%시,외연층회정현명현적Crosshatch모상;이당실배도감소시,회축점정현출혼합모상、균균배경모상、직지실배도위부치시정현Mosaic모상.인차,대우특정절지파장적HgCdTe초평면기건,가이통과공제HgCdTe/CdZnTe지간적실배,생장출부합아문요구적모상적제력홍외연재료,종이래제고초평면기건적성능.
