计算机仿真
計算機倣真
계산궤방진
COMPUTER SIMULATION
2007年
7期
280-282,346
,共4页
微机电系统%静电性能%机电性能
微機電繫統%靜電性能%機電性能
미궤전계통%정전성능%궤전성능
在常规机械中很少考虑的微小静电力会对MEMS的电路产生一定影响,同时MEMS的元件在静电力作用下会发生变形,进而使得MEMS的几何结构和电容等产生变化,加之目前MEMS试制成本较高,因此,必须对整个系统的静电性能和机电性能进行分析.利用边界元素法,对MEMS各元件进行静电性能分析;采用有限元分析软件包对MEMS作机电性能分析,探讨了驱动电压与位移的关系、位移变化与电容的关系等.通过仿真测试发现,可提高设计质量,降低成本,缩短研制周期.
在常規機械中很少攷慮的微小靜電力會對MEMS的電路產生一定影響,同時MEMS的元件在靜電力作用下會髮生變形,進而使得MEMS的幾何結構和電容等產生變化,加之目前MEMS試製成本較高,因此,必鬚對整箇繫統的靜電性能和機電性能進行分析.利用邊界元素法,對MEMS各元件進行靜電性能分析;採用有限元分析軟件包對MEMS作機電性能分析,探討瞭驅動電壓與位移的關繫、位移變化與電容的關繫等.通過倣真測試髮現,可提高設計質量,降低成本,縮短研製週期.
재상규궤계중흔소고필적미소정전력회대MEMS적전로산생일정영향,동시MEMS적원건재정전력작용하회발생변형,진이사득MEMS적궤하결구화전용등산생변화,가지목전MEMS시제성본교고,인차,필수대정개계통적정전성능화궤전성능진행분석.이용변계원소법,대MEMS각원건진행정전성능분석;채용유한원분석연건포대MEMS작궤전성능분석,탐토료구동전압여위이적관계、위이변화여전용적관계등.통과방진측시발현,가제고설계질량,강저성본,축단연제주기.
