CAJ | 학술논문

用金刚石粉,用不同时间在两片镜面抛光的(111)硅基片上分别打磨.两片硅基片打磨后都仍保持镜面特征.采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷和氧气为前驱气体,在同样参数条件下,在基片上制备了直径5 cm的金刚石薄膜.用扫描电镜和X射线衍射分析两片薄膜结构.分析结果表明其表面形貌基本相同都为(111)择优取向的金刚石薄膜;但X射线衍射分析表明打磨时间较长的薄膜中含有一定量在非晶成分.用热导测试仪测试两薄膜和硅基片的热导率约为:241.7 W/mK,192.9 W/mK和169.3 W/mK.结合扫描电镜和X射线衍射分析结果我们讨论了基底处理对金刚石/硅复合膜的导热特性的影响.
용금강석분,용불동시간재량편경면포광적(111)규기편상분별타마.량편규기편타마후도잉보지경면특정.채용미파등리자체화학기상침적계통,이용경기、갑완화양기위전구기체,재동양삼수조건하,재기편상제비료직경5 cm적금강석박막.용소묘전경화X사선연사분석량편박막결구.분석결과표명기표면형모기본상동도위(111)택우취향적금강석박막;단X사선연사분석표명타마시간교장적박막중함유일정량재비정성분.용열도측시의측시량박막화규기편적열도솔약위:241.7 W/mK,192.9 W/mK화169.3 W/mK.결합소묘전경화X사선연사분석결과아문토론료기저처리대금강석/규복합막적도열특성적영향.