兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2007年
4期
13-16
,共4页
梁戈%郑彬娜%蒋百灵%李玉庆
樑戈%鄭彬娜%蔣百靈%李玉慶
량과%정빈나%장백령%리옥경
非平衡磁控溅射%偏压%形貌%沉积速率
非平衡磁控濺射%偏壓%形貌%沉積速率
비평형자공천사%편압%형모%침적속솔
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅衬底上沉积类石墨碳膜(GLC),研究基体负偏压对GLC膜的组织形貌及性能的影响.结果表明:基体偏压影响镀层表面形貌,-30 V下的镀层表面为较小颗粒状组织;-65 V下的镀层表面均匀致密,无明显颗粒组织;-90 V下的镀层颗粒边界趋于明显;-120 V下的出现大小不均匀的颗粒.沉积速率在-65 V前保持平稳,-90 V时下降为0.25 μm·h-1.随偏压的增加,Ar元素含量先增加后降低.
採用非平衡磁控濺射離子鍍技術在單晶硅襯底上沉積類石墨碳膜(GLC),研究基體負偏壓對GLC膜的組織形貌及性能的影響.結果錶明:基體偏壓影響鍍層錶麵形貌,-30 V下的鍍層錶麵為較小顆粒狀組織;-65 V下的鍍層錶麵均勻緻密,無明顯顆粒組織;-90 V下的鍍層顆粒邊界趨于明顯;-120 V下的齣現大小不均勻的顆粒.沉積速率在-65 V前保持平穩,-90 V時下降為0.25 μm·h-1.隨偏壓的增加,Ar元素含量先增加後降低.
채용비평형자공천사리자도기술재단정규츤저상침적류석묵탄막(GLC),연구기체부편압대GLC막적조직형모급성능적영향.결과표명:기체편압영향도층표면형모,-30 V하적도층표면위교소과립상조직;-65 V하적도층표면균균치밀,무명현과립조직;-90 V하적도층과립변계추우명현;-120 V하적출현대소불균균적과립.침적속솔재-65 V전보지평은,-90 V시하강위0.25 μm·h-1.수편압적증가,Ar원소함량선증가후강저.
