黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2007年
14期
42
,共1页
波片%椭偏法%偏振光
波片%橢偏法%偏振光
파편%타편법%편진광
主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响,质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响.
主要討論1/4波片誤差對橢偏法測量薄膜厚度及摺射率等參量的影響,質量理想的波片以及方位角的誤差對PCSA繫統測量結果的影響.
주요토론1/4파편오차대타편법측량박막후도급절사솔등삼량적영향,질량이상적파편이급방위각적오차대PCSA계통측량결과적영향.
