化工学报
化工學報
화공학보
JOURNAL OF CHEMICAL INDUSY AND ENGINEERING (CHINA)
2007年
1期
54-60
,共7页
董涛%杨朝初%毕勤成%张玉龙%谷丹丹%张春权
董濤%楊朝初%畢勤成%張玉龍%穀丹丹%張春權
동도%양조초%필근성%장옥룡%곡단단%장춘권
微机电系统%微流体相变%微气泡生长%微小有限空间%矩形微通道
微機電繫統%微流體相變%微氣泡生長%微小有限空間%矩形微通道
미궤전계통%미류체상변%미기포생장%미소유한공간%구형미통도
采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响.结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低.相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢.
採用微機電繫統(MEMS)硅加工工藝,設計、加工齣瞭6種不同規格的實驗用微氣泡控製生長MEMS器件;構建瞭MEMS器件中微氣泡控製生長實驗繫統併完成瞭實驗,討論瞭熱負荷、微加熱元寬度、微通道截麵參數、工質流速及物性參數等對微氣泡生長的影響.結果錶明:同等實驗條件下,加熱電壓幅值越高,微氣泡生長速率越快;加熱脈遲寬度僅對微氣泡形成後的進一步生長有影響;加熱條件相同的前提下,微加熱元寬度越大,氣泡成覈所需的時間越短、微氣泡生長速率越快;微通道寬度一定且高寬比大于1的條件下,高寬比越小,後期微氣泡生長速率越慢;微流體的流速越高,微氣泡生長始點越晚、生長速率也越低.相同實驗條件下,R113、FC-72、去離子水三者中,R113中微氣泡生長始點最靠前、生長速率最快,去離子水中微氣泡生長最靠後、生長速率最慢.
채용미궤전계통(MEMS)규가공공예,설계、가공출료6충불동규격적실험용미기포공제생장MEMS기건;구건료MEMS기건중미기포공제생장실험계통병완성료실험,토론료열부하、미가열원관도、미통도절면삼수、공질류속급물성삼수등대미기포생장적영향.결과표명:동등실험조건하,가열전압폭치월고,미기포생장속솔월쾌;가열맥충관도부대미기포형성후적진일보생장유영향;가열조건상동적전제하,미가열원관도월대,기포성핵소수적시간월단、미기포생장속솔월쾌;미통도관도일정차고관비대우1적조건하,고관비월소,후기미기포생장속솔월만;미류체적류속월고,미기포생장시점월만、생장속솔야월저.상동실험조건하,R113、FC-72、거리자수삼자중,R113중미기포생장시점최고전、생장속솔최쾌,거리자수중미기포생장최고후、생장속솔최만.
