微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2006年
7期
186-188
,共3页
何冰%曾立波%王先培%尹邦胜
何冰%曾立波%王先培%尹邦勝
하빙%증립파%왕선배%윤방성
超磁致伸缩材料%驱动器%动态调整%迈克尔逊干涉仪
超磁緻伸縮材料%驅動器%動態調整%邁剋爾遜榦涉儀
초자치신축재료%구동기%동태조정%매극이손간섭의
基于超磁致伸缩材料的特性设计制作了一种用于迈克尔逊干涉仪定镜自适应校正的微位移驱动器,分析了驱动器的工作磁场,给出了位移输出的特性曲线.将其应用于激光干涉平台,可对定镜进行两个自由度的倾斜调整,并通过激光干涉信号进行反馈控制,对其发展起了极大的推动作用.
基于超磁緻伸縮材料的特性設計製作瞭一種用于邁剋爾遜榦涉儀定鏡自適應校正的微位移驅動器,分析瞭驅動器的工作磁場,給齣瞭位移輸齣的特性麯線.將其應用于激光榦涉平檯,可對定鏡進行兩箇自由度的傾斜調整,併通過激光榦涉信號進行反饋控製,對其髮展起瞭極大的推動作用.
기우초자치신축재료적특성설계제작료일충용우매극이손간섭의정경자괄응교정적미위이구동기,분석료구동기적공작자장,급출료위이수출적특성곡선.장기응용우격광간섭평태,가대정경진행량개자유도적경사조정,병통과격광간섭신호진행반궤공제,대기발전기료겁대적추동작용.