中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2004年
z2期
485-487
,共3页
陈同来%李效民%陈立东%董睿%王群%于伟东%高相东
陳同來%李效民%陳立東%董睿%王群%于偉東%高相東
진동래%리효민%진립동%동예%왕군%우위동%고상동
钙钛矿结构%硅衬底%电脉冲诱发可变电阻%氧化物功能薄膜
鈣鈦礦結構%硅襯底%電脈遲誘髮可變電阻%氧化物功能薄膜
개태광결구%규츤저%전맥충유발가변전조%양화물공능박막
研究了钙钛矿结构氧化物功能薄膜La0.3Ca0.7MnO3-δ(LCMO)在半导体硅衬底上的外延生长及其电脉冲诱发可变电阻(EPIR)效应.通过在半导体硅衬底与功能薄膜之间添加Ir/MgO双层缓冲层的方法,制备了全外延的LCMO/Ir/MgO/Si(001)的异质结构,其面外外延关系为:LCMO(001)//Ir(001)//MgO(001)//Si(001).X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析表明,LCMO薄膜具有良好的结晶性,其表面的平整度达到了Ra=1.47 nm.进一步电学性能研究表明,在Ag-LCMO-Ir三明治结构中,有着显著的电脉冲诱发可变电阻效应.分析认为这种电阻的变化与LCMO薄膜中靠近上下电极区的"等效畴"中的电荷占有状态有着密切的联系.
研究瞭鈣鈦礦結構氧化物功能薄膜La0.3Ca0.7MnO3-δ(LCMO)在半導體硅襯底上的外延生長及其電脈遲誘髮可變電阻(EPIR)效應.通過在半導體硅襯底與功能薄膜之間添加Ir/MgO雙層緩遲層的方法,製備瞭全外延的LCMO/Ir/MgO/Si(001)的異質結構,其麵外外延關繫為:LCMO(001)//Ir(001)//MgO(001)//Si(001).X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)分析錶明,LCMO薄膜具有良好的結晶性,其錶麵的平整度達到瞭Ra=1.47 nm.進一步電學性能研究錶明,在Ag-LCMO-Ir三明治結構中,有著顯著的電脈遲誘髮可變電阻效應.分析認為這種電阻的變化與LCMO薄膜中靠近上下電極區的"等效疇"中的電荷佔有狀態有著密切的聯繫.
연구료개태광결구양화물공능박막La0.3Ca0.7MnO3-δ(LCMO)재반도체규츤저상적외연생장급기전맥충유발가변전조(EPIR)효응.통과재반도체규츤저여공능박막지간첨가Ir/MgO쌍층완충층적방법,제비료전외연적LCMO/Ir/MgO/Si(001)적이질결구,기면외외연관계위:LCMO(001)//Ir(001)//MgO(001)//Si(001).X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)분석표명,LCMO박막구유량호적결정성,기표면적평정도체도료Ra=1.47 nm.진일보전학성능연구표명,재Ag-LCMO-Ir삼명치결구중,유착현저적전맥충유발가변전조효응.분석인위저충전조적변화여LCMO박막중고근상하전겁구적"등효주"중적전하점유상태유착밀절적련계.
