真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2001年
4期
269-272，280
,共5页
苗伟%陶琨%李彬%柳百新
苗偉%陶琨%李彬%柳百新
묘위%도곤%리빈%류백신
金属间化合物%离子注入%力学性能
金屬間化閤物%離子註入%力學性能
금속간화합물%리자주입%역학성능
利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64 μA/cm2,剂量为5×1017 ions/cm2时,在Al表面形成了稳定相DO23-Al3Zr和亚稳相L12-Al3Zr.当V离子束流密度为51 μA/cm2,剂量为3×1017 ions/cm2时,在Al表面形成了Al10V和Al3V.Zr和V离子注入到Al中使Al表面的硬度和弹性模量明显提高.
利用金屬蒸氣真空弧離子源,將大束流Zr和V離子註入到Al中,在離子註入過程中直接形成瞭金屬間化閤物Al3Zr,Al10V和Al3V.噹Zr離子束流密度為64 μA/cm2,劑量為5×1017 ions/cm2時,在Al錶麵形成瞭穩定相DO23-Al3Zr和亞穩相L12-Al3Zr.噹V離子束流密度為51 μA/cm2,劑量為3×1017 ions/cm2時,在Al錶麵形成瞭Al10V和Al3V.Zr和V離子註入到Al中使Al錶麵的硬度和彈性模量明顯提高.
이용금속증기진공호리자원,장대속류Zr화V리자주입도Al중,재리자주입과정중직접형성료금속간화합물Al3Zr,Al10V화Al3V.당Zr리자속류밀도위64 μA/cm2,제량위5×1017 ions/cm2시,재Al표면형성료은정상DO23-Al3Zr화아은상L12-Al3Zr.당V리자속류밀도위51 μA/cm2,제량위3×1017 ions/cm2시,재Al표면형성료Al10V화Al3V.Zr화V리자주입도Al중사Al표면적경도화탄성모량명현제고.
