化学物理学报
化學物理學報
화학물이학보
CHINESE JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS
2001年
4期
459-464
,共6页
齐尚奎%吕晋军%张平余%杨生荣%王云飞%王敬宜
齊尚奎%呂晉軍%張平餘%楊生榮%王雲飛%王敬宜
제상규%려진군%장평여%양생영%왕운비%왕경의
原子氧%CVD%有机聚硅氧烷%XPS
原子氧%CVD%有機聚硅氧烷%XPS
원자양%CVD%유궤취규양완%XPS
用CVD方法在一台射频放电等离子体聚合实验装置内成功地制备了沉积聚酯薄膜基底有机聚硅氧烷薄膜.该薄膜在有原子氧模拟实验装置内具有抗原子氧剥蚀的良好性能,对航天器等材料表面起到防护作用.有机聚硅氧烷薄膜与等离子体沉积时氧的泄露量有关,且沉积密度经AFM检测有较大的差异.并用XPS较详细考察了不同工艺制备的聚硅氧烷官能团构成和表面状态,以期得到优良的防剥蚀膜.
用CVD方法在一檯射頻放電等離子體聚閤實驗裝置內成功地製備瞭沉積聚酯薄膜基底有機聚硅氧烷薄膜.該薄膜在有原子氧模擬實驗裝置內具有抗原子氧剝蝕的良好性能,對航天器等材料錶麵起到防護作用.有機聚硅氧烷薄膜與等離子體沉積時氧的洩露量有關,且沉積密度經AFM檢測有較大的差異.併用XPS較詳細攷察瞭不同工藝製備的聚硅氧烷官能糰構成和錶麵狀態,以期得到優良的防剝蝕膜.
용CVD방법재일태사빈방전등리자체취합실험장치내성공지제비료침적취지박막기저유궤취규양완박막.해박막재유원자양모의실험장치내구유항원자양박식적량호성능,대항천기등재료표면기도방호작용.유궤취규양완박막여등리자체침적시양적설로량유관,차침적밀도경AFM검측유교대적차이.병용XPS교상세고찰료불동공예제비적취규양완관능단구성화표면상태,이기득도우량적방박식막.
