CAJ | 학술논문

以回摆法衍射峰的积分强度为基础，提出了X射线衍射分析单晶体时的多重性因子和衍射几何因子的概念，推导出普遍适用的相含量计算公式.利用双晶X射线多功能四圆衍射仪测绘GaN/GaAs(001)外延层中立方相（002）面、{111}面和六角相{100}面的极图和倒易空间Mapping，分析了六角相和立方相微孪晶的各晶面在极图中的分布特征及计算相含量时的多重性因子和衍射几何因子，并根据立方相(002)、立方相微孪晶{111}、六角相{101}和{100}衍射峰的积分强度，求得外延层中立方相微孪晶和六角相的含量.
이회파법연사봉적적분강도위기출，제출료X사선연사분석단정체시적다중성인자화연사궤하인자적개념，추도출보편괄용적상함량계산공식.이용쌍정X사선다공능사원연사의측회GaN/GaAs(001)외연층중립방상（002）면、{111}면화륙각상{100}면적겁도화도역공간Mapping，분석료륙각상화립방상미련정적각정면재겁도중적분포특정급계산상함량시적다중성인자화연사궤하인자，병근거립방상(002)、립방상미련정{111}、륙각상{101}화{100}연사봉적적분강도，구득외연층중립방상미련정화륙각상적함량.